物理气相沉积(PVD,Physical Vapor Deposition)**是一种在真空环境下通过物理方法将材料从固态转化为气态,再沉积于基材表面形成薄膜的技术。其核心流程包括材料蒸发/溅射、气相传输、沉积成膜三个阶段。核心优势:高硬度(2000-4000 HV)、耐腐蚀、低污染、精准厚度控制。技术分类:主要包括蒸发镀膜(电阻加热、电子束蒸发)、溅射镀膜(直流、射频、磁控溅射)和离子镀(等离子体增强、多弧离子镀)等PVD镀膜工艺流程典型的PVD镀膜流程包含以下步骤:表面处理:基材需进行除油、除尘等预处理,确保表面洁净干燥。底涂与烘干:喷涂或浸